
Neue Raunormale für hochauflösende Messtechniken
m2c hat zusammen mit der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) neuartige Raunormale für hochauflösende Oberflächenmesstechniken entwickelt und erprobt. Hierbei kann die gewünschte Rauheit flexibel vorgegeben und skalierbar übertragen werden. Die Strukturen werden mittels fokussierten Ionenstrahlen (Focussed Ion Beam, FIB) auf ein geeignetes Substrat geschrieben. Dabei können auch die aus der 2D-Rauheitsmesstechnik vorteilhaften Profilwiederholungen realisiert werden. Mehr Informationen hier: PTB Forschungsnachrichten
