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Mmc 80 structure layoutMmc 80 sem image
MMC-80 Strukturlayout und REM Bild

3D Kalibriernormale AFM

3D Normale für die Kalibrierung von Topographie-Messungen an einem AFM. Die simultane Kalibrierung von Lagemaßstab, Höhenmaßstab, lateralen und vertikalen Scherungen ermöglicht quantitative 3D Messungen am AFM.

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Beschreibung

Mmc80 3dview klein frei
AFM Datensatz MMC-80

3D AFM Kalibrierstrukturen bestehen aus einem Array von 4 mehrstufigen Einzelpyramiden. Auf der Kalibrierstruktur befinden sich ringförmige Referenzmarken (Nanomarker), deren Zentren hochgenau eingemessen sind. Diese ermöglichen Ihnen in Verbindung mit unserer 3D Kalibriersoftware microCal die Ermittlung der Maßstäbe und Kopplungen (Scherungen) aller drei Koordinatenachsen des verwendeten Messgeräts. Zu jeder Kalibrierstruktur erhalten Sie eine CD mit einer Datei mit den zugehörigen Referenzinformationen.

Die Kalibrierstruktur ist universell einsetzbar (AFM, CLSM, REM). Für weitere Anwendungen entwickelt und vertreibt m2c auch andere Varianten dieser Kalibrierstrukturen sowie kundenspezifische Anpassungen.

Spezifikationen

3D AFM Kalibrierstrukturen gibt es für verschiedene Scanbereiche (20 μm x 20 μm bis 80 μm x 80 μm). Für die Kalibrierung kann entweder der gesamte Bereich oder ein Teil (Einzelpyramide) verwendet werden.

Typ Verwendung Größe (µm²) Anzahl Strukturen Stufen Stufenhöhe (nm) Gesamthöhe (nm) Flankenwinkel (Grad) Nanomarker
Radius (nm)
MMC-80 AFM/SPM 90x90 4 3 1000 3000 38,5 800
MMC-40 AFM/SPM 45x45 4 3 600 1800 56 600
MMC-20 AFM/SPM 20x20 4 2 300 600 45 400

Bitte beachten Sie: Die Tabelle enthält nur nominelle Werte. Die tatsächlichen Dimensionen unterscheiden sich von diesen Werten. Für eine Kalibrierung sollten nur die Referenzmarken verwendet werden. Um eine rückführbare Kalibrierung zu gewährleisten, wird die Referenzmessung auf Nachfrage in der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) durchgeführt.