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3D REM Software microShape

3D REM Software microShape

Software für die Erzeugung, Visualisierung und Auswertung von 3D Oberflächenmodellen aus REM Bilddaten unter Verwendung eines 4-Quadrant-BSE-Detektors.

Unverbindliche Anfrage

Beschreibung

Die Anwendung eines 4-Quadrant-BSE-Detektors für die Topographiebestimmung von Probenoberflächen geht mit microShape einfach und schnell. Erweitern Sie Ihr Rasterelektronenmikroskop um die dritte Dimension und nutzen Sie folgende Vorteile:

  • 3D Darstellung der Proben-Topographie
  • Messung und Darstellung von Profilen
  • Messung von 3D-Punktkoordinaten und Höhendifferenzen
  • Berechnung von Raumstrecken und Raumwinkeln

Für quantitative 3D-Auswertungen ist eine Kalibrierung des verwendeten REM in Verbindung mit dem 4Q-BSE-Detektor erforderlich. Dafür empfehlen wir m2c Kalibrierstrukturen und die zugehörige Kalibriersoftware. Diese Kalibrierstrukturen wurden speziell für die Anforderungen bei der 3D-Kalibrierung am REM entwickelt. Sie enthalten räumlich verteilte Referenzmarken und eine Kugelkalotte für die Kalibrierung der BSE-Detektoren. Durch den Vergleich der am REM gemessenen Referenzmarken mit den Soll-Koordinaten der Kalibrierstruktur werden die Maßstäbe in allen drei Raumrichtungen ermittelt und für die Korrektur der 3D-Oberflächenmodelle verwendet.

Spezifikationen

m2c microShape berechnet aus den Bilddaten von vier BSE-Detektoren mittels photometrischer Mehrbildverarbeitung (Shape-from-Shading) ein dreidimensionales Oberflächenmodell der aufgenommenen Probe.

  • Messung von Profilen, Höhen, 3D-Koordinaten, Raumstrecken und -winkeln
  • Geometrische Operationen an 3D Oberflächenmodellen (definierte Freistellung, Drehung und Auflösungsänderung)
  • Korrektur von 3D Oberflächenmodellen (Skalierung und Scherungskorrektur in allen drei Raumrichtungen)
  • Datenexport für die spezielle Auswertung mit externer Software
  • Flexible Konfiguration des verwendeten Detektors. Die erforderlichen Geometrie-Parameter des Detektors erhalten Sie vom Gerätehersteller.