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Mmc 80 4bsd structure layoutMmc 80 4bsd sem image
MMC-80-4BSD Strukturlayout und REM Bild

3D Kalibriernormale REM

3D Normale für die Kalibrierung von Topographie-Messungen an einem REM mit 4-Quadrant BSE Detektor (4Q BSD). Die simultane Kalibrierung von Lage- und Höhenmaßstab ermöglicht quantitative 3D Messungen am REM.

Unverbindliche Anfrage

Beschreibung

Mmc80 4bse 3dview klein frei
AFM Datensatz MMC-80-4BSD

3D SEM Kalibrierstrukturen bestehen aus einem Array von 3 mehrstufigen Einzelpyramiden und enthalten zusätzlich ein kugelförmiges Element für die Kalibrierung der vier Rückstreu-Detektoren. Das kugelförmige Element hat einen Durchmesser von 10 µm und eine Höhe von ca. 1 µm. Auf der Kalibrierstruktur befinden sich ringförmige Referenzmarken (Nanomarker), deren Zentren hochgenau eingemessen sind. Diese ermöglichen Ihnen in Verbindung mit unserer 3D Kalibriersoftware microCal die Ermittlung der Maßstabsfehler Ihres 4Q-BSE-Detektor-Systems. Zu jeder Kalibrierstruktur erhalten Sie eine CD mit einer Datei mit den zugehörigen Referenzinformationen.

Spezifikationen

3D REM Kalibrierstrukturen gibt es für verschiedene Scanbereiche (40 μm x 40 μm bis 80 μm x 80 μm). Für die Kalibrierung kann entweder der gesamte Bereich oder ein Teil (Einzelpyramide) verwendet werden.

Typ Verwendung Größe (µm²) Anzahl Strukturen Stufen Stufenhöhe (nm) Gesamthöhe (nm) Flankenwinkel (Grad) Nanomarker
Radius (nm)
MMC-80-4BSD 4Q-BSD-REM 90x90 4 3 1000 3000 38,5 800
MMC-40-4BSD 4Q-BSD-REM 45x45 4 3 600 1800 56 600

Bitte beachten Sie: Die Tabelle enthält nur nominelle Werte. Die tatsächlichen Dimensionen unterscheiden sich von diesen Werten. Für eine Kalibrierung sollten nur die Referenzmarken verwendet werden. Um eine rückführbare Kalibrierung zu gewährleisten, wird die Referenzmessung auf Nachfrage in der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) durchgeführt.