m2c microscopy measurement & calibration
Beschreibung
3D SEM Kalibrierstrukturen bestehen aus einem Array von 3 mehrstufigen Einzelpyramiden und enthalten zusätzlich ein kugelförmiges Element für die Kalibrierung der vier Rückstreu-Detektoren. Das kugelförmige Element hat einen Durchmesser von 10 µm und eine Höhe von ca. 1 µm. Auf der Kalibrierstruktur befinden sich ringförmige Referenzmarken (Nanomarker), deren Zentren hochgenau eingemessen sind. Diese ermöglichen Ihnen in Verbindung mit unserer 3D Kalibriersoftware microCal die Ermittlung der Maßstabsfehler Ihres 4Q-BSE-Detektor-Systems. Zu jeder Kalibrierstruktur erhalten Sie eine CD mit einer Datei mit den zugehörigen Referenzinformationen.
Spezifikationen
3D REM Kalibrierstrukturen gibt es für verschiedene Scanbereiche (40 μm x 40 μm bis 80 μm x 80 μm). Für die Kalibrierung kann entweder der gesamte Bereich oder ein Teil (Einzelpyramide) verwendet werden.
| Typ | Verwendung | Größe (µm²) | Anzahl Strukturen | Stufen | Stufenhöhe (nm) | Gesamthöhe (nm) | Flankenwinkel (Grad) | Nanomarker Radius (nm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MMC-80-4BSD | 4Q-BSD-REM | 90x90 | 4 | 3 | 1000 | 3000 | 38,5 | 800 |
| MMC-40-4BSD | 4Q-BSD-REM | 45x45 | 4 | 3 | 600 | 1800 | 56 | 600 |
Bitte beachten Sie: Die Tabelle enthält nur nominelle Werte. Die tatsächlichen Dimensionen unterscheiden sich von diesen Werten. Für eine Kalibrierung sollten nur die Referenzmarken verwendet werden. Um eine rückführbare Kalibrierung zu gewährleisten, wird die Referenzmessung auf Nachfrage in der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) durchgeführt.